全自動(dòng)掃描電鏡是一種顯微分析儀器，依靠電子槍發(fā)射電子束，常見的電子源有鎢絲或場發(fā)射源。電子束經(jīng)加速電壓加速后，獲得較高能量，再通過電磁透鏡組成的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行聚焦，形成直徑小、能量高的電子束。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)藥、工業(yè)質(zhì)量控制等多個(gè)領(lǐng)域?？捎糜谟^察金屬、陶瓷、塑料、纖維等傳統(tǒng)材料，也能處理生物樣品、納米材料等特殊樣品。
樣品表面掃描：聚焦后的電子束在掃描發(fā)生器控制下，于樣品表面按一定規(guī)律進(jìn)行光柵式掃描。掃描過程中，電子束與樣品相互作用，激發(fā)出多種物理信號(hào)，如二次電子、背散射電子等。
信號(hào)收集處理：探測器負(fù)責(zé)收集電子束與樣品作用產(chǎn)生的各種物理信號(hào)，將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)后，經(jīng)放大系統(tǒng)增強(qiáng)，傳輸至顯示系統(tǒng)。經(jīng)過一系列處理，生成反映樣品表面特征的圖像。
圖像顯示分析：處理后的信號(hào)在顯示設(shè)備上呈現(xiàn)為清晰的掃描圖像。操作人員可根據(jù)需求對圖像進(jìn)一步分析處理，從而獲取樣品的微觀結(jié)構(gòu)和成分信息。
全自動(dòng)掃描電鏡(SEM)的使用注意事項(xiàng)：
-調(diào)焦注意：調(diào)焦時(shí)避免物鏡碰到試樣，以防劃傷物鏡。當(dāng)載物臺(tái)墊片圓孔中心遠(yuǎn)離物鏡中心時(shí)，不要切換物鏡，以免損傷鏡頭。
-亮度調(diào)整：亮度調(diào)整要適中，切忌忽大忽小或過亮，以免影響燈泡使用壽命和視力。
-非專業(yè)人員勿動(dòng)：非專業(yè)人員不要隨意調(diào)整顯微鏡照明系統(tǒng)(如燈絲位置)，以免影響成像質(zhì)量。
-更換鹵素?zé)糇⒁猓焊鼡Q鹵素?zé)魰r(shí)要注意高溫，避免灼傷；不要用手直接接觸鹵素?zé)舻牟Ａw。
-關(guān)機(jī)前準(zhǔn)備：關(guān)機(jī)前要將亮度調(diào)小，并按照正確的順序關(guān)閉電源和其他系統(tǒng)。
