掃描式電子顯微鏡是一種用于觀察樣品表面微觀結(jié)構(gòu)的精密儀器，憑借其特殊的工作原理和優(yōu)點，在多個領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用。隨著技術(shù)的不斷進步，它將在更多領(lǐng)域展現(xiàn)出強大的應(yīng)用潛力。
1.分辨率高：SEM的分辨率可達3nm，介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，能夠在納米尺度上清晰呈現(xiàn)樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
2.景深大：SEM的景深比光學(xué)顯微鏡大幾百倍，也遠超透射電子顯微鏡，這使得生成的圖像富有立體感，非常適用于觀察復(fù)雜表面和斷裂面的結(jié)構(gòu)。
3.放大范圍廣：SEM的放大倍數(shù)范圍寬，可從十幾倍到幾十萬倍連續(xù)調(diào)節(jié)，基本涵蓋了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡到透射電子顯微鏡的放大區(qū)間，能滿足不同尺度觀察的需求。
4.樣品制備簡單：與透射電子顯微鏡相比，SEM無需將樣品切成薄片，簡化了制樣流程，且對樣品的損傷和污染較小，有利于保持樣品的原始狀態(tài)。
5.多功能分析：在觀察樣品形貌的同時，還能利用背散射電子、特征X射線等信號進行晶體學(xué)分析和成分分析，實現(xiàn)形貌與成分信息的結(jié)合。
掃描式電子顯微鏡(SEM)的測定步驟：
-確保樣品表面清潔、干燥且導(dǎo)電。對于不導(dǎo)電的樣品，通常需要進行金屬涂覆或其他導(dǎo)電處理。
-樣品的尺寸和形狀應(yīng)適應(yīng)SEM的樣品臺，確保能夠牢固地固定在樣品臺上。
-避免樣品中含有揮發(fā)性物質(zhì)或水分，以免影響觀察效果或損壞儀器。
-打開總電源開關(guān)，等待電源穩(wěn)定輸出。
-依次打開真空泵、電子槍、探測器等各部件的電源開關(guān)，按照儀器說明書的要求進行自檢和初始化。
-將制備好的樣品放置在樣品臺上，并使用導(dǎo)電膠帶或其他固定方法將其牢固粘附。
-確保樣品位置正確，不會在觀察過程中移動或傾斜。
-啟動真空泵，將樣品室抽至高真空狀態(tài)。這一步驟是必要的，因為電子束需要在真空環(huán)境中傳播才能有效激發(fā)二次電子信號。
-根據(jù)需要選擇合適的加速電壓、工作距離和放大倍數(shù)。
-使用細調(diào)旋鈕仔細調(diào)節(jié)焦距，直至獲得清晰的圖像。同時，可以調(diào)整亮度和對比度以優(yōu)化圖像質(zhì)量。
-通過掃描樣品表面并收集產(chǎn)生的二次電子信號來形成圖像。這些信號經(jīng)過光電轉(zhuǎn)換后顯示在屏幕上供分析。
-保存觀察到的圖像和相關(guān)數(shù)據(jù)以便后續(xù)分析和參考。
